Scatterometric Porosimetry for porous low-k pattern s characterization
Journal article published in 2011 by
R. Hurand,
R. Bouyssou,
M. Darnon 
,
C. Tiphine,
C. Licitra,
M. El-Kodadi,
T. Chevolleau,
T. David,
N. Posseme,
M. Besacier,
P. Schiavone,
F. Bailly,
O. Joubert,
C. Verove,
Ieee
,
C. Tiphine,
C. Licitra,
M. El-Kodadi,
T. Chevolleau,
T. David,
N. Posseme,
M. Besacier,
P. Schiavone,
F. Bailly,
O. Joubert,
C. Verove,
Ieee
