フォトリソグラフィで製作するDEアクチュエータ駆動蠕動マイクロポンプの提案 ; Proposal of a DE actuator-driven peristaltic micropump fabricated by photolithography
Published in 2016 by
Sang In Eom,
嚴祥仁,
Kenta Asai,
浅井 健太,
Kosei Miyata,
宮田 航成,
Joon wan Kim,
金俊完,
Kazuhiro Yoshida,
吉田和弘
