Wiley-VCH Verlag, Chemical Vapor Deposition, 3(9), p. 157-161, 2003
Full text: Download
Treatment of (dimethylaminomethyl)ruthenocene with cis-Pt(DMSO)2Cl2 led to the formation of a ruthenocenyl platinum complex; subsequent treatment with [Na(hfac)] afforded an air-stable Pt-Ru complex. Its volatility and other physical data relevant to CVD experiments were assessed by thermogravimetric analysis. The Pt-Ru thin films were then deposted at two deposition temperatures using O2 as the reactive carrier gas. ; Le traitement de (diméthylaminométhyl)ruthénocène avec du cis-Pt(DMSO)2Cl2 mène à la formation d’un complexe de platine-ruthénocényl. Un traitement subséquent avec du [Na(hfac)] procure un complexe Pt-Ru stable à l’air. Sa volatilité et ses autres caractéristiques physiques relatives aux expérimentations CVD (dépôt chimique en phase vapeur) sont évaluées à l’aide d’analyses thermogravimétriques. Des couches minces de Pt-Ru sont alors déposées à deux températures de dépôt au moyen d’O2 comme gaz vecteur réactif. Les couches minces ainsi déposées sont caractérisées grâce aux méthodes suivantes : rayons X à dispersion d’énergie (EDX) [pour energy dispersive X-ray], microscopie électronique à balayage (SEM) [pour scanning electron microscopy], spectroscopie de photoélectrons (XPS) [pour X-ray photoelectron spectroscopy] et diffraction des rayons X (XRD) [pour X-ray diffraction]. Les résultats indiquent qu’il se forme une solution solide homogène de Pt-Ru à la température de dépôt la plus basse. Toutefois, lorsqu’on augmente la température à 400 °C, il se produit une séparation des phases entre Pt et Ru, qui provoque alors la croissance des grains de RuO2 à la surface du substrat et cause l’appauvrissement de l’alliage en ruthénium. L’activité électrocatalytique des couches, relativement à l’oxydation du méthanol, est examinée par voltampérométrie cyclique, à l’aide d’expérimentations en demi-pile. ; peer reviewed: yes ; NRC Pub: yes