Modular aufgebaute 'process-unit' - neues Anlagenkonzept für Ätzprozesse und die Wafergalvanoformung.
Published in 2009 by
M. Guttmann,
K. Kaiser,
S. Muth,
H. Moritz,
R. Schmidt,
M. Zwanzig,
L. Hofmann,
I. Schubert
Abstract
Oberflächentage 2009 : 48. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik, Bremen, 23.-25.September 2009