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Marcel Junige
Junige, 2011
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@phdthesis{Junige2011, author = {Junige, Marcel}, month = {jan}, title = {Entwicklung und Charakterisierung eines Prozesses zur thermischen Atomlagenabscheidung von Ruthenium mit in-situ Messtechnik}, url = {https://www.researchgate.net/profile/Marcel_Junige/publication/216857740_Entwicklung_und_Charakterisierung_eines_Prozesses_zur_thermischen_Atomlagenabscheidung_von_Ruthenium_mit_in-situ_Messtechnik/links/00b7d5140c74952439000000.pdf}, year = {2011} }
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Entwicklung und Charakterisierung eines Prozesses zur thermischen Atomlagenabscheidung von Ruthenium mit in-situ Messtechnik
Thesis published in 2011 by
Marcel Junige
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