Bildgebende makro-RFA findet in den letzten Jahren immer stärkere Verbreitung bei der zerstörungsfreien Untersuchung historischer Gemälde [1]. In dieser Technik wird die Oberfläche des Gemäldes schrittweise mit einem Röntgenstrahl von mehreren hundert Micrometern Durchmesser abgerastert. Dabei kann die Verteilung chemischer Elemente in Flächen von bis zu mehreren Quadratmetern untersucht werden. Durch die groβe Eindringtiefe der Röntgenstrahlen tragen nicht nur Elemente an der Oberfläche, sondern auch in tieferen Schichten, zu den aufgenommenen RFA Spektren bei, so dass auch Schichten untersucht werden können, die für das bloβe Auge nicht sichtbar sind. Diese Schichten können Aufschluss über Änderungen in der Kompositionen oder verworfene und übermalte Gemälde geben.Eine direkte Trennung der Signalen von der Oberfläche des Bildes und denen aus tieferen Lagen ist nicht direkt möglich, so dass es in machen Fällen fraglich ist, ob sich ein Element an der Oberfläche und in der endgültigen Komposition befindet.Um eine Tiefenempfindlichkleit zu erreichen haben wir einen RFA Scanner entwickelt der mittels mehrerer energiedispersiver Detektoren gleichzeitig Fluoreszensstrahlung mit vier verschiedenen Detektionswinkeln zwischen 25° und 45° registriert [2].Da die Absorption von Strahlung über die Weglänge im absorbierenden Medium und damit dem Detektionswinkel abhängt kann durch den Vergleich von Fluoreszensstrahlung die unter verschiedenen Detektionswinkeln aufgezeichnet wurde eine (begrenzte) Tiefenempfindlichkeit erreicht werden. Ähnliche Ergebnisse können durch den Vergleich der Intensitäten von Fluoreszenslinien unterschiedlicher Energie erreicht werden.Wir werden an ausgesuchten Fallstudien historischer Gemälde beide Ansätze miteinander und mit klassischen Tiefenprofilierungstechniken wie der konfokaler RFA [3] und Farbanschliffen vergleichen. [1] K. Janssens, M. Alfeld, G. Van der Snickt, W. De Nolf, F. Vanmeert, M. Radepont, L. Monico, J. Dik, M. Cotte, G. Falkenberg, C. Miliani, B.G. Brunetti, Annu. Rev. Anal. Chem. 6, 399 (2013).[2] M. Alfeld, K. Janssens, J. Dik, W. de Nolf, G. van der Snickt, J. Anal. At. Spectrom. 26, 899 (2011).[3] I. Reiche, K. Müller, M. Eveno, E. Itié, M. Menu, J. Anal. At. Spectrom. 26, 1715 (2012).