Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films
Journal article published in 2020 by
F. C. da Silva 
,
M. A. Tunes,
P. D. Edmondson,
N. B. Lima,
J. C. Sagás,
L. C. Fontana,
C. G. Schön
,
M. A. Tunes,
P. D. Edmondson,
N. B. Lima,
J. C. Sagás,
L. C. Fontana,
C. G. Schön
